運用範圍
真空氣相沉積設備是一種用於電子產品防水保護的鍍膜設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質氣體經過昇華、熱解後進入放置產品的真空反應室，借助空間氣相化學反應, 在產品表面上沉積生成0.1-100um的厚度均勻，無應力、優異的電絕緣性和防護性、防潮、防黴、防腐、防鹽霧的薄膜塗層。
廣泛應用於：航空航太、電路板、LED 、磁性材料、感測器、矽橡膠、密封件、醫療器械、珍貴文物等領域產品的防水封裝與保護工藝中。
產品規格
設備總尺寸 ( 寬度 , 深度 , 高度 ) / 重量 | 3000 mm x 1420 mm x 1620mm |
反應罐體外徑 | ?1210 mm x 1240 mm |
反應罐罐口尺寸 | 890 mm x 1200 mm |
輸入電壓 | 三相 380 VAC / 50 Hz |
設備最大功率 | 15 Kw |
溫控分區 | 6 |
分解爐溫控範圍 | 室溫至700℃ |
昇華爐溫控範圍 | 室溫到150℃ |
原料門溫控範圍 | 室溫到250℃ |
製冷壓縮機功率 | 1000 W |
製冷量 | 887 W |
最低製冷溫度 | -90℃ |
真空泵型號 | 2RH 090C |
真空泵抽氣速率 | 90 m3 |
最大真空壓力 | ≤ 5 Pa |
真空泵電機功率 | 3.7 KW (三相380VAC) |
真空泵電機轉速 | 1440 R/Min |
控制系統 | 10 ”人機介面，PLC 控制 |
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